艾泰克仪器科技(南京)有限公司

联系我们
服务热线
18013892749
地址:南京市建邺区奥体大街69号新城科技园01栋1002-2室
当前位置:主页 > 产品展示 > 形貌仪 >
三维表面形貌仪
浏览: 发布日期:2020-02-25

三维表面形貌仪

  双模式三维表面形貌仪是集合了共焦光学形貌仪,WLI白光干涉形貌仪,原子力显微镜,接触和非接触式双模式表面形貌检测。


 



项目简述 参数说明
1、双模式三维表面形貌仪——共焦
  • 可快速垂直扫描的旋转盘共焦技术。
  • 使用高数值孔径(0.95)以及高倍数的(150X)3D全视野3D镜头,用以表征坡度分析(最大斜率<干涉测量>:72ovs44o)。
  • 具有光学形貌上超高的横向分辨率,附有5百万自动分辨率的CCD相机,空间下样可调至0.05um,是表面特征以及形貌的测量的超佳配置。
  • 在测量表面粗糙度/表面反射率上无限制(0.1%-100%)
  • 应用于透明层/薄膜。
  • 兼容亮视野&暗视野;光学DIC。
  • 长距离远摄镜头是用以测量高纵横比以及坡度特性的理想之选。
  • 高稳定性。
2、双模式三维表面形貌仪——干涉仪(WLI)
  • Z向高分辨率,亚纳米级
  • 兼具相移(PSI)以及垂直扫描(VSI)模式
  • Z向分辨率可独立放大
  • 四色CCD相机,用户可自选的LED光源(白光,绿光,蓝光和红光)
  • 高达五百万像素的可自动分辨的CCD相机
  • 快速处理器在业界位于领先水平
  • 自动对焦
3、双模式三维表面形貌仪——原子力显微镜
  • 探针扫描可用于大型模板
  • X,Y,Z三向可达原子级分辨率
  • 大压电探针扫描XY:达到110x110um
4、双模式三维表面形貌仪——变焦
  • 粗糙度表面分析
  • 快速分析
  • 特点:一台设备上集成非接触式白光干涉形貌仪+高精度原子力显微镜








  • 上一篇:没有了
  • 下一篇:没有了
  • 艾泰克仪器科技(南京)有限公司

    联系方式:18013892749

    地址:南京市建邺区奥体大街69号新城科技园01栋1002-2室

    Copyright © 艾泰克仪器科技(南京)有限公司 版权所有 备案号:苏ICP备18064175号 技术支持:南京百度