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台阶仪
浏览: 发布日期:2020-03-30
台阶仪

集合了共焦光学形貌仪,WLI白光干涉形貌仪,原子力显微镜,接触和非接触式双模式表面形貌检测。

技术参数


项目简述 参数说明
共焦
  • 可快速垂直扫描的旋转共焦技术。
  • 使用高数值孔径 (0.95) 以及高倍数的 (150倍) 全视野3D镜头,用以表征坡度分析 (超大斜率<干涉测量>: 72°vs 44°) 。
  • 具有光学形貌上超高的横向分辨率,附有5百万自动分辨率的CCD相机, 空间下样可调至0.05um,是表面特征以及形貌的测量的理想配置。
  • 在测量表面粗糙度/表面反射率上无限制
  • 应用于透明层/薄膜。
  • 兼容亮视野&暗视野; 光学DIC。
  • 长距离远摄镜头是用以测量高纵横比以及坡度特性的理想之选。
  • 高稳定性。
干涉仪(WLI)
  • Z向高分辨率
  • 兼具相移(PSI)以及垂直扫描(VSI)模式
  • Z向分辨率可独立放大
  • 四色CCD 相机,用户可自选的LED光源 (白光、绿光、蓝光和红光)
  • 高达五百万像素的可自动分辨的CCD 相机
  • 快速处理器
  • 自动对焦
原子力显微镜
  • 探针扫描可用于大型模板
  • X、Y、Z三向可达原子级分辨率
  • 大压电探针扫描XY: 达到 110x110um
变焦
  • 粗糙表面分析
  • 快速分析
  • 一台设备上集成非接触式白光干涉形貌仪 高精度原子力显微镜














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