光学膜厚仪

光学膜厚仪

该仪器通过光谱反射原理来测量涂层厚度，可以测量涂层或薄膜的膜厚，基本所有光滑的、半透明的或低吸收系数的薄膜都可以测量，适用于具有透光性的氧化物、氮化物、光刻胶、聚合物、半导体薄膜、硬质涂层、聚合物薄膜和涂层等材质。可靠性高、可追溯性高、重复性好，易于使用。